Fil chaud dans une micro-cavité et capteur de pression en technologie MEMS Delphine Meunier, Dimitrios M. Tsamados, Jumana Boussey et Sedat Tardu La Houille Blanche, 4 (2003) 75-81 Publié en ligne : 1 juillet 2009 DOI: 10.1051/lhb/2003079